真空等離子清洗機

型號：SGR-1300

：GRM

產(chǎn)品簡述

1、等離子清洗機的結(jié)構(gòu)主要分為三個大的部分組成，分別是控制單元、真空腔體以及真空泵。

（A）控制單元

控制單元液晶觸摸屏控制方式。 而控制單元又分為兩個大的部分：

1）電源部分：主要電源頻率是13.56MHz、13.56MHz 是需要電源匹配器的

2）系統(tǒng)控制單元是液晶觸摸屏控制

（B）真空腔體

真空腔體材質(zhì)：高強度鋁合金腔體

（C）真空泵

產(chǎn)品特點

處理溫度低：

處理溫度可以低至50°C以下，低的處理溫度可以確保對樣品表面不造成熱影響。

處理全程無污染

等離子清洗機本身是很環(huán)保的設(shè)備，無產(chǎn)生任何污染，處理過程也無產(chǎn)生任何污染?？梢源钆湓猩a(chǎn)流水線，實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn)，節(jié)約人力成本。

處理效果穩(wěn)定：

等離子清洗的處理效果非常均勻穩(wěn)定，常規(guī)樣品處理后較長時間內(nèi)保持效果良好。

可以處理各種形狀的樣品：

對于復(fù)雜形狀的樣品等離子清洗都能找到合適的解決方案。真空等離子清洗更可實現(xiàn)對固體樣品內(nèi)部位置進行清洗。

性能優(yōu)勢

德國電路技術(shù)：

采用德國高壓激勵電源電路技術(shù),產(chǎn)生高密度等離子體,確保出眾的清洗效果

全面安全防護：

溫度過高,過載,氣壓失常,短路斷路,誤操作,等全面的報警保護功能。

軍工級密封腔體：

軍工級的高真空度密封腔體材質(zhì)及制造工藝

靈活的氣體配方選擇：

可選擇兩路、三路、四路氣體配方方案,滿足不同工藝要求。

產(chǎn)品部件：

全部部件采用國內(nèi)外*部件,運行穩(wěn)定壽命更長

低溫清洗：

滿足不同場合溫度要求,不對清洗產(chǎn)品造成溫度影響。

環(huán)保簡易：

極低的運行成本,操作簡單,過程無化學(xué)污染物排放,符合環(huán)保規(guī)范

等離子清洗的作用

等離子清洗的作用原理主要是：

（A）對材料表面的刻蝕作用--物理作用 等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

（B）激活鍵能，交聯(lián)作用

等離子體中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基不這些鍵 形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能團--化學(xué)作用 如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會収生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團都是活性基團，能明顯提高材料表面活性。

參數(shù)指標(biāo)