這款用于中等負載工藝的干式真空泵配備了荏原的節(jié)能技術(shù)，采用了模塊化設(shè)計，針對自動化工廠的制造進行了優(yōu)化，以進一步實現(xiàn)小型化和節(jié)能。
寬范圍溫度控制擴展了應(yīng)用過程。 使用同一臺機器覆蓋多個過程的能力優(yōu)化了備用機器庫存，降低了維護和培訓(xùn)要求，并為未來的過程擴展提供了靈活性。 此外，每個過程的*溫度控制提高了工藝阻力，延長組件更換周期有助于減少 TCoO。
適用應(yīng)用示例：各種蝕刻、CVD、灰化、離子注入、外延生長等。