光發(fā)射顯微鏡是器件分析過(guò)程中針對(duì)漏電失效模式，必不可少的分析工具。器件在設(shè)計(jì)、生產(chǎn)制造過(guò)程中有絕緣缺陷，或者期間經(jīng)過(guò)外界靜電擊穿，均會(huì)造成器件漏電失效。漏電失效模式的器件在通電得狀態(tài)下，內(nèi)部形成流動(dòng)電流，漏電位置的電子會(huì)發(fā)生遷移，形成電能向光能的轉(zhuǎn)化，即電能以光能的方式釋放，從而形成200nm~1700nm紅外線。光發(fā)射顯微鏡主要利用紅外線偵測(cè)器，通過(guò)紅外顯微鏡探測(cè)到這些釋放出來(lái)的紅外線，從而的定位到器件的漏電點(diǎn)。