原裝進(jìn)口EBARA 荏原 G-WS 濕式廢氣處理器

2025/03/13 09:10:30

型號 G-WS

節(jié)省空間的濕式廢氣處理系統(tǒng)，非常適合以低成本處理水溶性氣體

濕式廢氣處理系統(tǒng)

多種氣體的批處理

副產(chǎn)品對策

長期維護(hù)間隔

運(yùn)行成本低

初期成本低

提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL

產(chǎn)品介紹

這是一種可以低成本安裝和運(yùn)行的濕式廢氣處理系統(tǒng)。它不需要燃料，并且基于 EBARA 的副產(chǎn)品對策實(shí)現(xiàn)了長期維護(hù)周期，這些對策是在燃燒式廢氣處理設(shè)備中積累的 10 多年中培養(yǎng)的。有助于穩(wěn)定運(yùn)行，降低維護(hù)成本和人工。此外，維護(hù)空間僅在設(shè)備的前部。即使在有限的 sub-fab 空間內(nèi)，也可以實(shí)現(xiàn)高度靈活的布局。
待處理氣體：可在室溫下處理的水溶性氣體，如 NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF 和 HCl

規(guī)范

型		單位	G-WS1000 系列
*處理風(fēng)量		升/分鐘	1,000
連接的入口數(shù)量			4
外形尺寸		毫米	寬914×D736×H1,727
效用	水	升/分鐘	1 - 10
	位移	升/分鐘	1 - 10
	氮	升/分鐘	15-50
	權(quán)力		1.8-3.5kW 三相 AC 200V （50/60Hz）
	排氣管道（處理氣體）		1.5
	排氣管（外殼排氣）	米3/分鐘	1.3
主要可處理氣體	Epi 系列		鹽酸、DCS
	心血管疾病		氟化鎂6、NH3、氯化鈦4、氯化鈍3、氟化硅3、硅化硅、F2
	蝕刻		BCl3、HCl、HF、HBr、SiF4、Br2、Cl2、F2*
	阿瑟		NH3
無法濕法處理的氣體			H2、SiH4、PH3、GeH4、CH4、PFC（CF4、SF6、NF3）等。
*請?jiān)谔幚頃r(shí)與我們聯(lián)系

北崎8年，日本會社20年，專注領(lǐng)域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機(jī)SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）
備件設(shè)備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

北京PVC彎頭DN25

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