原裝進口EBARA 荏原 G5-600 P1-P4 燃燒式廢氣處理器

2025/03/13 10:08:27

G5 系列

可燃性氣體和溫室氣體（PFC）氣體的高效處理、燃燒式廢氣處理裝置

燃燒廢氣處理系統(tǒng)

多種氣體的批處理

PFC 氣體的高效處理

副產(chǎn)品對策和粉末自動卸料功能

運行成本低

正常運行時間長

根據(jù)氣體類型和體積按需運行

提高可維護性

提供 CE 標志/SEMI-S2/NRTL

產(chǎn)品介紹

G5 是一種燃燒式廢氣處理系統(tǒng)，能夠高效處理制造過程中使用的各種氣體。可以一次處理多種氣體，并且可以高效處理通常難以處理的 PFC 氣體。通過我們的副產(chǎn)品對策和根據(jù)要處理的氣體類型和數(shù)量按需（可變?nèi)剂瞎┳鱽斫档瓦\行成本。它非常適合用于半導體、液晶面板、太陽能電池和 LED 等電子元件的制造、化學和材料制造商以及各種實驗室。還提供*流量為 1,200 L/min 的大流量型。

規(guī)范

型	單位	G5-350 A1~A4/P1~P4	G5-500 A1~A4/P1~P4	G5-600 A1~A4/P1~P4	G5-1200 A1~A4/P1~P4
加工方法		燃燒 + 濕式	燃燒 + 濕式	燃燒 + 濕式	燃燒 + 濕式
*進氣量	升/分鐘	350	500	600	1200
燃料		城市燃氣/丙烷氣選擇	城市燃氣/丙烷氣選擇	城市燃氣/丙烷氣選擇	城市燃氣/丙烷氣選擇
大小	寬 x 深 x 高 mm	1,200 x 650 x 1,900	1,200 x 650 x 1,900	1,200 x 1,100 x 2,000	1,200 x 1,100 x 2,200
可處理氣體示例		工藝（庫）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等一般清潔氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等一般蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。	工藝（庫）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等一般清潔氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等一般蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。	工藝（庫）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等一般清潔氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等一般蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。	工藝（庫）氣體 SiH4、PH3、GeH4、NH3、SiH2Cl2、TEOS、B2H6、H2 等一般清潔氣體 NF3、ClF3、HF、F2、HCl、COF2 等一般蝕刻氣體 HBr、Cl2、SiCl4、 BCl3、CO、C5F8、C4F6 等。 PFC CF4、C2F6、C3F8、CHF3、SF6 等。
標準設備		除粉 vernas 刮刀	除粉 vernas 刮刀	除粉 vernas 刮刀	除粉 vernas 刮刀
選擇		市政水和廢水消耗減少裝置	市政水和廢水消耗減少裝置	市政水和廢水消耗減少裝置	市政水和廢水消耗減少裝置

北崎8年，日本會社20年，專注領域如下：
儀器相關(guān)：
山高SANKO（代理）、東機產(chǎn)業(yè)TOKI（代理）、索尼克SONIC（代理）、東日技研DIT（代理）、杉山電機SUGIYAMA（代理）、愛安德AND(廠家合作）、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA（代理）
備件設備相關(guān)：
柴田SIBATA(代理）、壺坂TSUBOSAKA（代理）、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON（代理）、武藏MUSASHI（代理）、尼得科NIDEC（代理）、MRM(代理）、坂口電熱SAKAGUCHI（代理）、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI（廠家合作）、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關(guān)：
巖崎EYE（代理）、日森SEN（代理）、晰寫速CCS（代理）、萊寶克斯REVOX（代理）、索萊克SERIC(代理）、普拉瑞POLARION、船越龍FUNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制：
SIEMENS西門子（廠家合作）、MITSUBISHI三菱，OMRON歐姆龍（廠家合作）、基恩士KEYENCE（廠家合作）

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原裝進口EBARA 荏原 G5-600 P1-P4 燃燒式廢氣處理器

G5 系列

可燃性氣體和溫室氣體 （PFC） 氣體的高效處理、燃燒式廢氣處理裝置

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可燃性氣體和溫室氣體（PFC）氣體的高效處理、燃燒式廢氣處理裝置