SENTECH 光譜橢偏儀-SENresearch

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SENresearch

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SENTECH

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更新時(shí)間
2020-07-21 08:15:03

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    SENTECH 光譜橢偏儀-SENresearch

    SENresearch是一款高性能、研發(fā)用寬波段光譜橢偏儀,主要應(yīng)用是針對(duì)研發(fā)領(lǐng)域的薄膜、材料分析。

     

    儀器介紹:

    SENresearch寬波段光譜橢偏儀系列(光譜范圍190 nm –2500 nm),針對(duì)、滿足現(xiàn)代研究的需求,為任何應(yīng)用都能夠提供的測(cè)量速度和度。

     

    該系列光譜橢偏儀能夠測(cè)量薄膜厚度,折射率,吸收系數(shù),并能夠描述材料性質(zhì),如材料組分、折射率梯度、表面和界面粗糙層、各向異性材料和多層膜。

        SENresearch光譜橢偏儀能夠分析并不理想的樣品,如退偏效應(yīng),非均勻樣品,散射和背板反射。

    SENresearch由SpectraRay II軟件操作,  完善的軟件能夠測(cè)量數(shù)據(jù),建模,擬合并作出橢偏測(cè)量、反射/透射測(cè)量的結(jié)果報(bào)告。

     

     

     

    進(jìn)掃描分析器工作模式,消色差單色儀,電腦控制起偏器,UV-VIS波段快速二極管/CCD陣列探測(cè)器和NIR波段干涉儀調(diào)制探測(cè)器能提供快速測(cè)量和高信噪比,并為任何測(cè)量在全部psi, delta范圍(0-90 deg (psi) and 0 – 360 deg (delta).)都提供高的測(cè)量精度。

    SENresearch系列光譜橢偏儀能夠測(cè)量反射光偏振狀態(tài),修正由于非均勻樣品、粗糙表面、聚焦角度所導(dǎo)致的退偏效應(yīng)。并能夠分析各向異性樣品和材料。

     

        SENTECH的地貌圖掃描選項(xiàng),支持對(duì)復(fù)雜多層膜樣品在全波段快速測(cè)量并分析其均勻性(小每點(diǎn)5秒)。數(shù)據(jù)可按照設(shè)定的地圖圖案表現(xiàn)為2D-, 3D-或等高線圖,并能夠進(jìn)行全面統(tǒng)計(jì)分析。

     

     

    可選自動(dòng)角度計(jì),提供更大范圍入射角度(20-90 deg)。

    可選低溫保持器用于溫度控制測(cè)量。


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