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真空直線平臺：

真空步進(jìn)電機(jī)絲桿平臺, 真空電機(jī)直線滑臺, 真空直線平臺,真空滾珠絲杠平臺

雙軸真空絲杠平臺，三軸真空絲桿直線平臺

AML的高真空直線絲桿平臺提供長行程，具有*小高度可以負(fù)荷達(dá)10kg，他們有廣泛間隔的“五輥”滾筒導(dǎo)軌在簡單的復(fù)合機(jī)制中是有用的扭轉(zhuǎn)載荷小。他們是制造使用耐真空的特殊材料，動力使用AML的耐高真空步進(jìn)電機(jī)步進(jìn)電機(jī)。直線運(yùn)動由金剛石研磨的并校正的絲桿和螺母配合，精密研磨以保證良好的精度并將預(yù)緊絲杠位置穩(wěn)定性消除齒隙。

真空平臺指標(biāo)

行程25-250mm , 每步的分辨率可以達(dá)到1u，零間隙，高剛性結(jié)構(gòu)，負(fù)載可以達(dá)到50kg。可以直接搭載XYZ運(yùn)動平臺。真空度范圍是：10^10mbar以內(nèi)。使用交叉滾珠導(dǎo)軌運(yùn)動，使運(yùn)動精度更高。