產(chǎn)品背景：

      當(dāng)今的高性能電子束相關(guān)的設(shè)備對(duì)變化的環(huán)境磁場(chǎng)非常敏感，比如離子束3D打印設(shè)備、電子顯微鏡、半導(dǎo)體光刻機(jī)、等離子切割機(jī)。當(dāng)環(huán)境磁場(chǎng)發(fā)生變化時(shí)，電鏡中的電子束會(huì)偏轉(zhuǎn)，從而導(dǎo)致打印歪曲偏離、電子顯微鏡分辨率下降和圖像失真。HSR2iX系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)通過動(dòng)態(tài)創(chuàng)建幾乎相等且方向相反的磁場(chǎng)來穩(wěn)定電子束相關(guān)的設(shè)備周圍的環(huán)境磁場(chǎng)，改善各種電子束、離子束設(shè)備周圍惡劣的磁場(chǎng)環(huán)境，保障設(shè)備使用的磁場(chǎng)環(huán)境要求。

產(chǎn)品介紹：

     HSR2iX系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)由磁傳感器感知單元、磁場(chǎng)發(fā)生單元、磁場(chǎng)控制單元、顯控單元等構(gòu)成。綜合了低噪聲磁敏感技術(shù)、消磁線圈優(yōu)化設(shè)計(jì)技術(shù)、磁場(chǎng)自動(dòng)控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)寬頻帶雜散磁場(chǎng)的自動(dòng)跟蹤補(bǔ)償，達(dá)到穩(wěn)定磁場(chǎng)的目的。

      根據(jù)具體用途，HSR2iX系列磁場(chǎng)消除系統(tǒng)具有三種不同型號(hào)：HSR2i01、HSR2i02和HSR2i03。（特殊情況可定制）

工作原理：

       通過三分量磁場(chǎng)傳感器實(shí)現(xiàn)雜散磁場(chǎng)的感知，并將感知到的信號(hào)送入智能磁場(chǎng)控制單元；智能磁場(chǎng)控制單元實(shí)時(shí)產(chǎn)生一個(gè)電流信號(hào)，該電流通過磁場(chǎng)產(chǎn)生單元產(chǎn)生與雜散磁場(chǎng)方向相反、大小相等的磁場(chǎng)，在工作區(qū)實(shí)現(xiàn)了磁場(chǎng)的疊加從而得到穩(wěn)定的磁場(chǎng)環(huán)境。

典型應(yīng)用：

1. 生命科學(xué)領(lǐng)域的冷凍電鏡

2. 材料科學(xué)領(lǐng)域的掃描電鏡

3. 化工領(lǐng)域中的原理分析用電鏡

4. 半導(dǎo)體工藝中的缺陷分析用電鏡

5. 納米制造領(lǐng)域的加工精度保證